潔凈室的送風量與排風量之間保持一定的風量差(稱為余風量)，必然會導致潔凈室產生一定的壓差。余風量(氣流追蹤)控制即控制系統實時測量風量(送風和排風量)變化，通過調節送風量或排風量，動態的達到相應的風量平衡，使送風量和排風量之間保持恒定的風量差，從而維持恒定的壓差。控制系統利用氣流測量裝置實時測量送風量和排風量，排風量可以在排風主管上測量，在各個單獨的排風上進行測量并求和，控制器據此調節送風量，使其追蹤排風量的變化，保持一定的余風量，從而達到所希望的壓差值。可以看出余風量控制是一個開環控制系統。可以用斜管壓差計測試壓差控制效果。

　　在這里，余風量就是達到所希望壓差時滲人或滲出潔凈室的空氣流量(單位為CFM)。負的余風量即總排風量大于總送風量，它將導致負壓的產生，而正的余風量則是總送風量大于總排風量，它將導致正壓產生。

　　在風量等式中，余風量是定值。但在實際情況下，它是變化的，例如當流量傳感器發生偏移時，實際的余風量也將發生變化。因此，應該考慮選擇足夠大的余風量來彌補由于圍護結構氣密程度、風管泄漏以及流量測量裝置精度誤差等造成的影響。

　　純壓差控制方法相對而言簡單明了，其基本原理如圖1。其控制原理為:壓差傳感器測量室內與參照區域的壓差(OP)，與設定點(即期望的壓差)比較后，控制器根據偏差按PID調節算法對送風量(或排風量)進行控制，從而達到要求的壓差。可以看出，送風量(或排風量)是壓差(Δp)、設定點以及PID常數(α，β)的函數。

　　另外一種相似的壓差控制方法則是根據伯努利原理，利用一個裝在小管內的風速探頭，將小管置于潔凈室與參照區之間的開孔中，由于潔凈室內與參照區的壓力差將使空氣從此小管中流過，管中的風速探頭就可傳感潔凈室內與參照區之間的空氣流速，從而根據伯努利原理利用風速計算出潔凈室與參照區的壓差，根據此壓差信號，按照上述的方法，控制器對潔凈室的送風或排風量進行控制，達到所期望的壓差值，這樣的方法稱為“偽壓差”控制方法。